杏彩体育金融界2024年11月15日消息，国家知识产权局信息显示杏彩体育，浙江亚笙半导体设备有限公司取得一项名为“一种工业废气回收装置及半导体处理系统”的专利，授权公告号 CN 221998929 U，申请日期为2024年3月。

　　专利摘要显示，本实用新型公开了一种工业废气回收装置及半导体处理系统杏彩体育。工业废气回收装置应用于半导体制造工艺中，包括：气体真空泵，用于抽取半导体制造生产设备中的废气；冷凝系统，与所述气体真空泵连接，用于冷凝所述废气；所述气体真空泵和所述冷凝系统之间设置背压阀；电气控制柜，与所述冷凝系统连接；终端回收系统，与所述电气控制柜连接，用于回收液体；所述电气控制柜与所述终端回收系统之间设置逆止阀；所述电气控制柜用于控制和监测所述冷凝系统，并抽取所述冷凝系统的液体将所述液体回收至所述终端回收系统。本实用新型采用气液回收的方式，先将气体冷凝，再回收液体，安全可靠，相比于传统的液液回收和气气回收，效率以及安全性有着显著的提升。